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薄膜、塊體樣品制備
CVTD材料氣相生長輸運與沉積系統(tǒng)
CVTD 材料氣相輸運與沉積系統(tǒng)
CVTD 材料氣相輸運與沉積系統(tǒng)
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CVTD 材料氣相輸運與沉積系統(tǒng)可以滿足塊體、粉末、 薄膜等樣品真空(保護氣氛下)合成生長制備,廣泛適用于低維材料(0D/1D/2D)、磁性材料、熱電材料、能源材料、光電材料、半導體材料,金屬材料、超導材料等材料器件生長制備,已經被眾多高校、科研院所和企業(yè)使用,成為眾多材料實驗研發(fā)的儀器。
CVTD 材料氣相輸運與沉積系統(tǒng)特點:
該系統(tǒng)由 CVT 和 CVD 組成,主要包括 CVT 高真空自動熔封機、真空泵組、高溫輸運和沉積生長管式爐、氣體流量控制等部分組成。其中 CVT 模塊由高真空熔封和雙溫區(qū)管式爐組成,主要用于材料樣品在石英試管中真空環(huán)境狀態(tài)下(或保護氣氛下)完成熔封封管;CVD 模塊采用雙溫區(qū)高精度管式爐,可通氣氛抽真空(選配),,主要用于 CVT、CVD、預燒、燒結、鍍膜等。